بررسی خواص الکتریکی و اثر هال در لایه های نازک مس به صورت تابعی از دمای زیرلایه

این مقاله به بررسی تاثیر دمای زیر لایه در ساختار بلوری خواص الکتریکی و اثر هال لایه های نازک مس می پردازد و دستاوردهای آن می تواند در زمینه ساخت قطعات الکتریکی و الکترونیکی مورد توجه قرار بگیرد. لایه های نازک مس با ضخامت nm 90 به روش تبخیر حرارتی در خلا بر روی زیر لایه های شیشه در دمای مختلف زیر لایه 100-300 درجه حرارت انباشت شدند. ساختار بلوری مقاومت ویژه الکتریکی و اثر هال در نمونه ها به ترتیب به روش پراش پرتو XRD -X ابزار جهار میله نوک تیز و سیستم بررسی اثر هال مطالعه شدند نتایج نشان داد که افزایش دمای زیر لایه سبب کاهش مقاومت ویژه الکتریکی و تراکم حامل ها و افزایش تحرک حامل ها در نمونه ها می شود و این رفتار می تواند به واسطه افزایش اندازه دانه ها و کاهش تعداد مرز دانه ها باشد.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، مس ، خواص الکترویکی ، اثرهال