آنالیز طراحی و توصیف مشخصه ها و تستهای ویژه ی یک ترانسدیوسر خازنی MEMS اولتراسونیکی، در خصوص آشکارسازی عیوب در سازه های صنعتی
محل انتشار: دومین کنفرانس ملی مهندسی برق
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,546
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NEEC02_031
تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1388
چکیده مقاله:
سیستمهای میکروالکترومیکانیکی (MEMS) بعنوان یکی از امید بخش ترین فناوریها در هزاره سوم لحاظ می شود. امروزه، کاهش حجم و وزن ترانسدیوسرها هدف اصلی بسیاری از صنایع، دانشگاههای تحقیقاتی و شرکتها می باشد. پیشرفتهای اصلی سیستمها و ابزارهای اولتراسونیکی در دهه های اخیر، جایگاه های ویژه ای پیدا کرده اندودلیل خوبی برای آنالیزور بررسی آنها بمثابه یک فناوری مدرن و تطبیق پذیر وجود دارد. روشهای اولتراسونیکی می توانند در پایش ومونیتورینک انتشار ترک (Crack)، عیب، شکست جوش، خرابی قطعات و ... در مکانهای بحرانی، سازه ها و فرآیندهای صنعتی و ... مورد استفاده قرار گیرند. مع الوصف به علت محدودیت های عارضی در بازررسی اولتراسونیکی، یک تکنولوژی ترجیحی، می تواند بهره گیری از ترانسدیوسرهای خازنی MEMS اوتراسونیکی از نوع دیافراگمی باشد. و آشکار سازی عیوب به روش اولتراسونیکی می پردازد. تراشه مورد نظر دارای 23 سنسور ( به صورت آرایه ای) که هر یک دارای 180 دیافراگم سیلیکونی با یک قطر 85 میکرونی و فرکانس طبیعی بارگذاری نشده نردیک به 3.5MHz می باشد. این مقاله همچنین گزارشی شامل اندازه گیریهای ظرفیت خازنی- ولتاژ مشخصه های (C-V) وادمیتانس ارایه می دهد. سپس آزمایشهای اصلی و اولیه انجام شده بمنظور تحریک ترانسدیوسرهای پیزوالکتریک (PZT) رایج و فرآیندهای آشکار سازی موفقیت آمیز سیگنالهای فراصوتی در خصوص کاربردهای بالقوه آنها ( از جمله اندازه گیری ضخامت اجسام ذیربط) را مورد تدفیق و آنالیز قرار می دهد.
کلیدواژه ها:
آشکار سازی پالس- اکو ، اندازه گیری ضخامت ، اولتراسونیک ، ترانسدیوسرخازنی ، سیستمهای میکروالکترو میکانیکی (MEMS) ، عنصر PZT
نویسندگان
جهانگیر باقری
دانشکده مهندسی کنترل- دانشگاه برادفورد
امیر حسین پورجم
دانشکده فنی و مهندسی- دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینی شهر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :